[实用新型]一种新型ITO导电玻璃有效
申请号: | 201721083658.9 | 申请日: | 2017-08-28 |
公开(公告)号: | CN207380399U | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 谢璐;张色冯;赵云;张为苍;何会楼 | 申请(专利权)人: | 信利半导体有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;H01B5/14 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 邓义华;陈卫 |
地址: | 516600 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型ITO导电玻璃,包括ITO层和设在ITO层下的金属导电膜,其特征在于,所述金属导电膜包括从上往下依次层叠的第一Mo层、第一Al层、第二Mo层、第二Al层和第三Mo层。通过将金属导电膜的Mo层、Al层、Mo层上再镀一层Al层、Mo层,形成MoAlMoAlMo层金属导电膜,可在蚀刻时减轻金属导电膜侧蚀问题,保证金属导电膜的走线线宽,还可减小金属导电膜的电阻,降低功耗,也可降低可靠性过程金属导电膜的腐蚀。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 ito 导电 玻璃 | ||
【主权项】:
1.一种新型ITO导电玻璃,包括ITO层和设在ITO层下的金属导电膜,其特征在于,所述金属导电膜包括从上往下依次层叠的第一Mo层、第一Al层、第二Mo层、第二Al层和第三Mo层。
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