[实用新型]纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器

摘要

一种纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置4个光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、带有动光栅的质量块、检测梁、联接块，定光栅层设置4个定光栅，下基板内设置4个激光光源、导线，此装置无需驱动，该角速率传感器具有量程大、结构简单、正交耦合误差小、受外界冲击或振动影响小的优点。

主权项

纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器，其特征在于，所述角速率传感器包括：上基板、动光栅层、定光栅层及下基板，所述上基板、动光栅层、定光栅层及下基板依次叠层布置；所述角速率传感器还包括纳米光栅检测单元，所述纳米光栅检测单元包括：光电探测器、动光栅、定光栅、及激光光源，所述光电探测器、动光栅、定光栅、及激光光源分别设置在所述上基板、动光栅层、定光栅层及下基板上，同一个纳米光栅检测单元内，所述光电探测器、动光栅、定光栅、及激光光源置于同一竖直线上；所述动光栅布置在质量块上，所述质量块通过折叠梁结构连接在所述动光栅层上。