[实用新型]晶圆酸洗槽系统有效
| 申请号： | 201721088756.1 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN207834257U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 周文华 | 申请（专利权）人： | 上海强华实业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人： | 宋林清 |
| 地址： | 201507 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶圆酸洗槽系统，酸洗槽内设有石英托板，清洗花篮放置在所述石英托板，清洗花篮用于承载晶圆片，酸洗槽的底部设有喷淋管，喷淋管下弯连接一个带加热系统的升温管的出口端，升温管的进口端用于输入酸液，酸洗槽的底面呈现为倾斜状，酸液的流向侧壁设有第一排废管，酸洗槽的上部外套一个双层石英缸，双层石英缸用于承接酸洗槽溢出的酸液，双层石英缸的底部连接第二排废管，第一排废管和第二排废管汇接后连通起冷却作用的螺旋废液瓶的入口，螺旋废液瓶的外壁紧贴安装有螺旋石英管，螺旋废液瓶的出口用于酸液的回收。 | ||
| 搜索关键词： | 酸洗槽 排废管 酸液 双层石英 废液瓶 喷淋管 升温管 石英 托板 清洗 花篮 螺旋石英管 底部连接 加热系统 紧贴安装 冷却作用 出口端 进口端 晶圆片 倾斜状 侧壁 汇接 晶圆 外壁 下弯 种晶 连通 溢出 承接 承载 回收 出口 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆酸洗槽系统，其特征在于，酸洗槽内设有石英托板，清洗花篮放置在所述石英托板，清洗花篮用于承载晶圆片，酸洗槽的底部设有喷淋管，喷淋管下弯连接一个带加热系统的升温管的出口端，升温管的进口端用于输入酸液，酸洗槽的底面呈现为倾斜状，酸液的流向侧壁设有第一排废管，酸洗槽的上部外套一个双层石英缸，双层石英缸用于承接酸洗槽溢出的酸液，双层石英缸的底部连接第二排废管，第一排废管和第二排废管汇接后连通起冷却作用的螺旋废液瓶的入口，螺旋废液瓶的外壁紧贴安装有螺旋石英管，螺旋废液瓶的出口用于酸液的回收。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海强华实业股份有限公司，未经上海强华实业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721088756.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种晶圆酸洗槽
- 下一篇：一种新型抗腐蚀真空液体收集器
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
