[实用新型]基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片有效
| 申请号： | 201721095133.7 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN207281318U | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 马冲;陈刚;刘定权;李大琪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所31311 | 代理人： | 李秀兰 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片。该保偏分色片以石英为基底，Ta2O5和SiO2分别作为高、低折射率镀膜材料，光线22.5°倾斜入射。采用离子束溅射薄膜沉积工艺，基片的一侧镀制保偏分色膜层，实现光谱分色控制以及保偏控制；基片的另一侧镀制应力匹配的增透膜层，在保证保偏分色片分色性能及保偏性能的同时，抵消主镀膜面的部分应力值，减小主镀膜表面的曲率半径，实现保偏分色片面形的控制。其应用于量子通信实验中，具有分色性能高效，保偏性能优异，面形可控等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 离子束 溅射 沉积 薄膜 可控 分色 | ||
【主权项】：
一种基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片，包括基底(1)、保偏分色膜层(2)和增透膜层(3)，其特征在于：所述的保偏分色片以石英为基底(1)，在基底一面镀制保偏分色膜层(2)，在基底的另一面镀制应力匹配的增透膜层(3)；通过计算保偏分色膜层(2)中高、低折射率膜层的物理总厚度及比值，对所述增透膜层(3)进行应力匹配设计。
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