[实用新型]过渡金属硼化物-金属复合靶材与镀膜设备有效
| 申请号： | 201721115049.7 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN207608623U | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;陈光海;蒋春磊 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 刘书芝 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种过渡金属硼化物‑金属复合靶材与镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域，该过渡金属硼化物‑金属复合靶材包括过渡金属硼化物基体和与所述过渡金属硼化物基体固定连接的金属件，所述过渡金属硼化物基体的工作面与所述金属件的工作面共表面，利用该过渡金属硼化物‑金属复合靶材能够缓解制备复合涂层时金属含量不易精确控制的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 过渡金属硼化物 金属复合 靶材 镀膜设备 金属件 本实用新型 复合涂层 共表面 制备 金属 缓解 | ||
【主权项】：
1.一种过渡金属硼化物‑金属复合靶材，其特征在于，包括过渡金属硼化物基体和与所述过渡金属硼化物基体固定连接的金属件，所述过渡金属硼化物基体的工作面与所述金属件的工作面共表面。
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