[实用新型]坩埚盖和坩埚有效
| 申请号： | 201721136237.8 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN207659560U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张岩;韩江山;赵然;曹祐铭;赵子强;冯恒毅;马鹏翔;陈鹏磊;孙建;樊本杰;陈菲菲 | 申请（专利权）人： | 中科钢研节能科技有限公司;上海大革智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 严政;刘依云 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及碳化硅长晶领域，公开了一种坩埚盖和坩埚，所述坩埚盖的上表面形成有凹槽(1)，所述凹槽(1)内可拆卸地设置有一个或多个温度调节片(2)，所述温度调节片(2)上形成有贯穿上下表面的通孔(3)。本实用新型中，仅仅通过调节坩埚盖的凹槽中的温度调节片的数量，达到灵活调节热场的温度梯度，大大节约了生长碳化硅的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚盖 温度调节片 本实用新型 碳化硅 坩埚 上下表面 温度梯度 可拆卸 上表面 热场 通孔 生长 贯穿 节约 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚盖，其特征在于，所述坩埚盖的上表面形成有凹槽(1)，所述凹槽(1)内可拆卸地设置有一个或多个温度调节片(2)，所述温度调节片(2)上形成有贯穿上下表面的通孔(3)。
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