[实用新型]抽渣系统以及三氯氢硅生产系统

摘要

本实用新型涉及三氯氢硅生产技术领域，具体而言，涉及一种抽渣系统以及三氯氢硅生产系统。该抽渣系统，包括过滤器、真空泵以及汽水分离器。其中，过滤器内部设置有滤袋，过滤器一端连接有出气管，过滤器的另一端设置有排渣口。通过将真空泵与过滤器的出气口和汽水分离器的进气口连通，当生产三氯氢硅时，产生的固渣能够从过滤器的排渣口排出，固渣吸附的气体能够通过真空泵进入汽水分离器，进行处理或者回收。通过设置上述的抽渣系统，提供了一种能安全、环保、快速、有效的处理三氯氢硅生产中残渣排放同时能回收其内有用物料的方法。

主权项

一种抽渣系统，其特征在于，包括过滤器，所述过滤器内部设置有滤袋，所述过滤器一端连接有出气管，所述过滤器的另一端设置有排渣口；真空泵，所述真空泵的进气口连通于所述过滤器的所述出气管；以及汽水分离器，所述汽水分离器的进气口连通于所述真空泵的出气口。