[实用新型]一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统

摘要

本实用新型公开了一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统，包括消像差准直镜组、斩波反射镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第一振镜、第二振镜、第一f‑θ镜、第二f‑θ镜；其中，消像差准直镜组可替换为消像差非球面镜。本实用新型提供的斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统，通过斩波反射镜间歇性镜面调谐功能，基于一维振镜扫描功能，具有加工效率高，适用范围广等优点，适用于脉冲光纤激光器激光毛化，尤其适用于高功率脉冲光纤激光器在平面平动与转动系统中有序激光毛化。

主权项

一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统，包括：脉冲光纤激光束(13)，其特征在于：还包括消像差准直镜组(1)、斩波反射镜(2)、斩波反射镜转轴(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、第一振镜(6)、第一振镜转轴(7)、第一f‑θ镜(8)、第三反射镜(9)、第二振镜(10)、第二振镜转轴(11)和第二f‑θ镜(12)；所述脉冲光纤激光束(13)的正下方设有一个消像差准直镜组(1)；所述消像差准直镜组(1)的下方左侧设有一个斩波反射镜(2)；所述消像差准直镜组(1)的下方右侧设有一个第一反射镜(4)；所述斩波反射镜(2)上设有一个斩波反射镜转轴(3)；所述斩波反射镜(2)的下方左侧设有一个第二振镜(10)；所述斩波反射镜(2)的下方右侧设有一个第三反射镜(9)；所述第一反射镜(4)的下方左侧设有一个第二反射镜(5)；所述第一反射镜(4)的下方右侧设有一个第一振镜(6)；所述第一振镜(6)上设有一个第一振镜转轴(7)；所述第三反射镜(9)和第二振镜(10)的下方设有一个第二f‑θ镜(12)；所述第二反射镜(5)和第一振镜(6)的下方设有一个第一f‑θ镜(8)；所述第二振镜(10)上设有一个第二振镜转轴(11)。