[实用新型]硅片吸盘有效
| 申请号： | 201721141990.6 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN208070807U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 董晓清;邱其伟 | 申请（专利权）人： | 无锡市江松科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片吸盘，包括吸盘本体，所述吸盘本体上设置有若个中空部，中空部从吸盘本体的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘本体，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸盘本体的顶部设置有一个主气道，主气道连接若干个气嘴，气嘴通过气管连通吸嘴。采用该吸盘吸附硅片时，当吸盘发生抖动时，挂钩弹簧可以起到缓冲作用，减少吸嘴与吸盘的碰撞动量，从而保护硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘本体 吸嘴 挂钩弹簧 中空部 吸盘 硅片吸盘 主气道 硅片 气嘴 动量 本实用新型 摆动轨迹 顶部设置 缓冲作用 平面垂直 吸盘吸附 拐角处 吸附面 抖动 气管 连通 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种硅片吸盘，包括吸盘本体，其特征在于：所述吸盘本体上设置有若个中空部，中空部从吸盘本体的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘本体，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸盘本体的顶部设置有一个主气道，主气道连接若干个气嘴，气嘴通过气管连通吸嘴，在吸盘本体上还设置有多个条形槽，挂钩弹簧设置在条形槽中。
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