[实用新型]基于局域电化学刻蚀的制备X射线纳米CT金属微试样的装置

摘要

本实用新型公开了一种基于局域电化学刻蚀的制备纳米CT金属微试样的装置，包括精密位置控制单元、电化学刻蚀单元、实时监控单元，所述精密位置控制单元用于样品的平移；所述的电化学刻蚀单元用于精确刻蚀样品，得到所需结构；所述的实时监控单元用于实时观察样品的刻蚀状态，并将所述的状态进行采集成像。本实用新型通过电化学局域刻蚀可以方便快捷、低成本制备直径仅为数十或数微米金属微柱试样及复杂形状例如狗骨头形状原位力学测试微试样，适用于多数金属或合金的X射线纳米CT试样的制备，解决了金属材料纳米CT三维微观结构分析的制样难题，对促进X射线显微CT的推广应用具有重要的意义。

主权项

1.基于局域电化学刻蚀的制备X射线纳米CT金属微试样的装置，其特征在于，包括精密位置控制单元、电化学刻蚀单元、实时监控单元，所述精密位置控制单元用于样品的平移；所述的电化学刻蚀单元用于精确刻蚀样品，得到所需结构；所述的实时监控单元用于实时观察样品的刻蚀状态，并将所述的状态进行采集成像；其中，精密位置控制单元包括单轴带有滚珠导轨（8）的电动平移台（1）、步进电动机（2），固定样品夹持件（20）的上夹板（4）、下夹板（5）、以及控制电动平移台（1）移动速率及其距离的控制模块（6），步进电动机（2）带动电动平移台（1）移动，上夹板（4）、下夹板（5）固定在电动平移台（1）上；电化学刻蚀单元的电源（17）采用数控直流稳压电源，电源（17）负极连接铜导电极（18），电源（17）正极连接固定样品夹持件（20）；实时监控单元包括设置可变倍镜头（9）的CCD图像采集装置（10）、固定支架（12）、LED环形光源（13）、调节准焦螺旋（14），其中，CCD图像采集装置（10）固定在固定支架（12）上，通过设置在固定支架（12）上的调节准焦螺旋（14）带动CCD图像采集装置（10）纵向平移，LED环形光源（13）补充CCD图像采集装置（10）所需光线，CCD图像采集装置（10）对样品的刻蚀状态进行实时采集并成像。