[实用新型]一种CVD机台腔室顶盖清理装置有效
| 申请号： | 201721158221.7 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN207371974U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 张飞;杨琳;郭晃亨;李政鸿;寻飞林;林兓兓;蔡吉明 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/02 | 分类号： | B08B7/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种CVD机台腔室顶盖清理装置，用于清理所述顶盖下表面及内部孔洞，其特征在于：所述清理装置至少包括：震荡装置、废料收集装置、气体吹扫装置、液体加热装置；其中，所述震荡装置置放于所述顶盖上表面，用于形成震荡波清除所述顶盖下表面和顶盖内部孔洞中的废料残留物；所述废料收集装置覆盖于所述顶盖下表面，用于收集所述震荡波清除的废料；所述气体吹扫装置连接于所述顶盖的进气口，用于吹扫所述顶盖内部孔洞残留物；所述液体加热装置连接于所述顶盖上表面进出水口，用于维持顶盖温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 机台 顶盖 清理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种CVD机台腔室顶盖清理装置，用于清理所述顶盖下表面及内部孔洞，其特征在于：所述清理装置至少包括：震荡装置、废料收集装置、气体吹扫装置、液体加热装置和总控装置；其中，所述震荡装置置放于所述顶盖上表面，用于形成震荡波清除所述顶盖下表面和顶盖内部孔洞中的废料残留物；所述废料收集装置覆盖于所述顶盖下表面，用于收集所述震荡波清除的废料；所述气体吹扫装置连接于所述顶盖的进气口，用于吹扫所述顶盖内部孔洞残留物；所述液体加热装置连接于所述顶盖上表面进出水口，用于维持顶盖温度。
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