[实用新型]一种具有刷针功能的探针卡

摘要

本实用新型公开了一种具有刷针功能的探针卡，属于半导体制造技术领域，包括探针支架、探针卡基板、探针，探针支架的中部包括一个圆形的出针窗口，探针卡基板设置于探针支架的上方，探针设置于探针支架上并伸入到出针窗口内，在探针支架内设置一个围绕出针窗口设置的轨道，将一连接可旋转的嵌设于轨道内，并于连接上连接一中部设有通孔的固定支架，毛刷通过一个伸缩单元设置在固定支架上并伸入到出针窗口中，再设置一个驱动装置，驱动固定支架旋转。上述技术方案的有益效果是：通过在探针卡的出针窗口处设置可转动可伸缩的毛刷，在探测器的传片间隙使毛刷伸出清理探针，可以同时清理探针的针臂和针尖，减少误测率和重测率，提高测试效率。

主权项

1.一种具有刷针功能的探针卡，包括探针支架、探针卡基板、探针，所述探针支架的中部包括一个圆形的出针窗口，所述探针卡基板设置于所述探针支架的上方，所述探针设置于所述探针支架上并伸入到所述出针窗口内，其特征在于，所述探针卡还包括：一圆环形的第一轨道，于所述探针支架的内部环绕所述出针窗口设置；一圆环形的第二轨道，于所述探针支架背向所述探针基板的一面上环绕所述出针窗口设置，所述第二轨道与所述第一轨道连通并且所述第二轨道的宽度小于所述第一轨道的宽度；一连接件，包括一两端贯通的圆筒和连接于所述圆筒的一端上的圆环，所述圆环与所述圆筒分别与所述第一轨道和所述第二轨道适配，并分别可旋转的嵌设于所述第一轨道和所述第二轨道中；固定支架，连接于所述圆筒未连接所述圆环的一端，于所述固定支架上对应于所述出针窗口的位置设置一圆形的通孔；伸缩单元，设置于所述固定支架上，所述伸缩单元设置有一处于伸出状态的第一位置及一处于缩回状态的第二位置；毛刷，设置于所述伸缩单元上，并于所述伸缩单元处于所述第一位置处接触所述探针，以及于所述伸缩单元处于所述第二位置处位于所述通孔的边缘；驱动装置，连接所述固定支架用以驱动所述固定支架旋转。