[实用新型]高频感应加热蒸发装置

摘要

本实用新型提供了一种高频感应加热蒸发装置，包括：多个坩埚、坩埚支架、感应线圈、移动机构以及密封机构；多个坩埚，用于盛放镀膜材料；坩埚支架，用于对多个坩埚进行支撑；移动机构，用于驱动多个坩埚中的目标坩埚移动使目标坩埚进入所述感应线圈内；感应线圈，用于通过通入高频电流对目标坩埚内的镀膜材料进行加热蒸发；密封机构，用于在移动机构和真空室之间形成密封。本实用新型所提供的高频感应加热蒸发装置的优点在于：(1)镀膜材料装载量大、装载种类多；(2)蒸发源位置固定从而使得膜厚具有良好的一致性；(3)可以根据实际需求增减坩埚数量，布局方便、定制化程度高；(4)增加坩埚数量的同时不需要额外增加加热系统，节约成本。

主权项

1.一种高频感应加热蒸发装置，该高频感应加热蒸发装置包括：多个坩埚、坩埚支架、感应线圈、移动机构以及密封机构，其中，所述多个坩埚、所述坩埚支架、所述感应线圈设置在真空室中，所述移动机构设置在所述真空室外；所述多个坩埚，用于盛放镀膜材料；所述坩埚支架，用于对所述多个坩埚进行支撑；所述移动机构，延伸至所述真空室中与所述坩埚支架连接，用于驱动所述多个坩埚中的目标坩埚移动使所述目标坩埚进入所述感应线圈内；所述感应线圈，用于通过通入高频电流对所述目标坩埚内的镀膜材料进行加热蒸发；所述密封机构，设置在所述移动机构和所述真空室之间，用于在所述移动机构和所述真空室之间形成密封。