[实用新型]一种超高真空热处理炉

摘要

本实用新型公开了一种超高真空热处理炉，包括真空室，真空室的输水接管、真空接管、电极分别与供水系统、超高真空机组、加热供电系统连接。真空室包括上、下炉盖和炉壳体；上炉盖与炉壳体固定连接；下炉盖通过升降装置上升与下降；下炉盖上升到位时，下炉盖与上炉盖、炉壳体形成密闭腔室；上炉盖顶部安装热电偶连接盘；上、下炉盖和炉壳体的内侧面安装有隔热屏；所有隔热屏形成的空间内安装鼠笼式金属发热体；下炉盖上安装料盘，下炉盖上升到位时，料盘置于鼠笼式金属发热体形成的加热腔内。超高真空机组包括干泵、分子泵、钛泵、离子泵。本实用新型可有效实现超高真空热处理工艺，自动化程度高，生产效率高，操作安全性高。

主权项

一种超高真空热处理炉，其特征在于：它包括通过立柱支撑在底座上的真空室，真空室上的输水接管通过输水管道与供水系统连接，真空室上的真空接管通过波纹管与超高真空机组连接，真空室上的电极与加热供电系统连接，真空室、供水系统、超高真空机组、加热供电系统与电控系统连接，其中：真空室包括双层水冷夹套结构的上炉盖、下炉盖和炉壳体；上炉盖与炉壳体固定连接；下炉盖通过升降装置上升与下降来进行装料、出料作业；当下炉盖上升到位时，下炉盖与上炉盖、炉壳体一起形成密闭腔室；上炉盖顶部安装有热电偶连接盘；上炉盖、下炉盖、炉壳体的内侧面均安装有隔热屏；所有隔热屏形成的空间内安装有鼠笼式金属发热体，鼠笼式金属发热体伸出真空室的金属连接板与电极连接；下炉盖上面通过工件支撑杆安装有料盘，当下炉盖上升到位时，料盘置于鼠笼式金属发热体形成的加热腔内；超高真空机组包括与波纹管连接的抽真空管道，抽真空管道上连接有干泵、分子泵、钛泵、离子泵。