[实用新型]全自动探针台及其工作台有效
申请号: | 201721170545.2 | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN207181444U | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 刘振辉;林生财;王胜利;杨波 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种全自动探针台及其工作台,包括台座;与所述台座竖向间隔布置的、用于承载待测件的载片台;设置于所述台座上的驱动机构;以及,受所述驱动机构驱使以部分伸出所述载片台用于承接所述待测件的、由若干顶针组成的顶针组件,所述载片台设有供所述顶针伸出的穿孔,当承接有所述待测件的所述顶针接触所述待测件的一端收缩至所述穿孔内时所述待测件放置于所述载片台上。待测件受顶针组件的承托作用难以直接掉落在载片台上,以达到保护待测件的目的。 | ||
搜索关键词: | 全自动 探针 及其 工作台 | ||
【主权项】:
一种全自动探针台的工作台,其特征在于,包括:台座(51);与所述台座(51)竖向间隔布置的、用于承载待测件的载片台(52);设置于所述台座(51)上的驱动机构(53);以及,受所述驱动机构(53)驱使以部分伸出所述载片台(52)用于承接所述待测件的、由若干顶针(54)组成的顶针组件,所述载片台(52)设有供所述顶针(54)伸出的穿孔(521),当承接有所述待测件的所述顶针(54)接触所述待测件的一端收缩至所述穿孔(521)内时所述待测件放置于所述载片台(52)上。
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