[实用新型]一种机械手臂提拉拆卸装置有效
| 申请号： | 201721171446.6 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN207465105U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 解文骏 | 申请（专利权）人： | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上海）自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 在半导体设备领域，晶圆是当前集成电路的基础半成品，晶圆的加工处理都需要靠机器人手臂来传输晶圆。当机器人手臂需要拆装时，应为机器人手臂是利用一种无接触的磁力传动原理实现，所以超强的磁力使得人力无法轻松安全得拆除或安装磁力部件。本实用新型一种机械手臂提拉拆卸装置能有效的增加拆除或安装磁力部件的效率与安全性，大大减轻工人在拆除或安装磁力部件时的负担。 | ||
| 搜索关键词： | 机器人手臂 磁力部件 晶圆 拆卸装置 机械手臂 拆除 提拉 半导体设备 本实用新型 磁力传动 原理实现 磁力 无接触 拆装 超强 半成品 集成电路 传输 安全 | ||
【主权项】：
一种机械手臂提拉拆卸装置，它由支撑柱、支撑连接板、抓取臂（A）、抓取臂（B）、可调臂、丝杠、丝杠连接杆、丝杆法兰螺母、手轮和保护堵头组成，4根支撑柱固定在支撑板上；把丝杆法兰螺母也固定于支撑板中间；把2根可调臂固定在丝杠连接杆的两侧上；抓取臂（A）装配在一侧的可调臂上；抓取臂（B）装配在另一侧的可调臂上；丝杠固定在丝杠连接杆中间；把丝杠穿过支撑连接板并旋入丝杠法兰螺母中；手轮固定在丝杠的顶端；保护堵头塞入4根支撑柱底部。
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