[实用新型]低碳、无油大抽速真空抽气机组有效
| 申请号： | 201721191708.5 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN207363840U | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 储昕 | 申请（专利权）人： | 储昕 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B41/06;F04D29/42;F04D29/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广东国欣律师事务所 44221 | 代理人： | 王启胜 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵抽气机组，获得能与传统扩散泵相当的抽速，具有大幅度节省抽气能耗，缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点。 | ||
| 搜索关键词： | 无油大抽速 真空 抽气机 | ||
【主权项】：
1.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于储昕，未经储昕许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721191708.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：通气座及其组成的自动吸电子烟结构
- 下一篇：一种复合肥加工用储存装置
