[实用新型]易于安装的石墨舟用定位柱有效
申请号: | 201721193278.0 | 申请日: | 2017-09-18 |
公开(公告)号: | CN207217496U | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 齐轶;曹钺 | 申请(专利权)人: | 上海晶驰炭素有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/673 |
代理公司: | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙)31230 | 代理人: | 陈伟勇 |
地址: | 201505 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及机械技术领域。易于安装的石墨舟用定位柱,包括石墨制成的定位柱,定位柱包括一用于安装至舟片的定位孔中的安装部,安装部的左右两侧分别固定连接有一用于固定硅片的硅片卡接部,安装部包括左右设置的第一安装部与第二安装部;第一安装部的右侧设有凸起,第二安装部的左侧设有与凸起相匹配的凹槽,且凸起的外壁设有外螺纹,凹槽的内壁设有与外螺纹相匹配的内螺纹;还包括在第一安装部与第二安装部旋紧时用于夹紧舟片的夹持机构,夹持机构包括第一挡板、第二挡板,第一挡板固定在第一安装部,第二挡板固定在第二安装部。本专利通过第一安装部与第二安装部的可拆卸连接,实现定位柱在定位孔的固定,通过夹持机构,保证定位柱的固定效果。 | ||
搜索关键词: | 易于 安装 石墨 定位 | ||
【主权项】:
易于安装的石墨舟用定位柱,包括石墨制成的定位柱,所述定位柱包括一用于安装至舟片的定位孔中的安装部,所述安装部的左右两侧分别固定连接有一用于固定硅片的硅片卡接部,其特征在于,所述安装部包括左右设置的第一安装部与第二安装部;所述第一安装部的右侧设有凸起,所述第二安装部的左侧设有与所述凸起相匹配的凹槽,且所述凸起的外壁设有外螺纹,所述凹槽的内壁设有与外螺纹相匹配的内螺纹;所述第一安装部与所述第二安装部通过所述内螺纹与所述外螺纹螺纹连接;还包括在第一安装部与第二安装部旋紧时用于夹紧舟片的夹持机构,所述夹持机构包括石墨制成的第一挡板、石墨制成的第二挡板,所述第一挡板固定在所述第一安装部,所述第二挡板固定在所述第二安装部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造