[实用新型]等离子体探针测量控制系统有效

专利信息
申请号: 201721203384.2 申请日: 2017-09-18
公开(公告)号: CN207366633U 公开(公告)日: 2018-05-15
发明(设计)人: 温建华;潘俏凤;温可颖 申请(专利权)人: 广州城市职业学院
主分类号: G01R19/25 分类号: G01R19/25;G05B19/042;H02H3/06
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 陈金普
地址: 510405 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种等离子体探针测量控制系统,包括连接PC机的主控模块,连接主控模块电压输出模块以及连接电压输出模块的探针电压电流检测模块;探针电压电流检测模块的输出端连接主控模块;本实用新型基于根据正负极进行串联的第一开关电源、第二开关电源,主控模块控制的电压扫描范围大,比传统的测量设备扫描电压幅度更高;基于本实用新型,可以获得对等离子体准确、精密的测量数据源。抗干扰能力强、测量精度更高,并且可选择设置传统的手动扫描或自动扫描,电路相对简单。
搜索关键词: 等离子体 探针 测量 控制系统
【主权项】:
1.一种等离子体探针测量控制系统,其特征在于,包括连接PC机的主控模块,连接所述主控模块电压输出模块以及连接所述电压输出模块的探针电压电流检测模块;所述探针电压电流检测模块的输出端连接所述主控模块;所述电压输出模块包括正负电压输出单元以及输出放大单元;所述正负电压输出单元包括根据正负极进行串联第一开关电源、第二开关电源;所述输出放大单元包括一级放大电路和二级放大电路;所述一级放大电路包括第一级放大器,所述二级放大电路包括第二级放大器;所述第一级放大器的第一输入端连接所述主控模块的模拟信号输出端,第二输入端接地,输出端连接所述第二级放大器的第一输入端;所述第二级放大器的第二输入端接地,输出端连接所述探针电压电流检测模块,第一电源端连接所述第一开关电源、第二电源端连接所述第二开关电源。
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