[实用新型]一种带有减震机构的微动平台

摘要

本实用新型公开一种带有减震机构的微动平台，包括一矩形基座和设于基座内的运动平台、减震机构，基座上设有两驱动方向相互垂直的第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器，减震机构包括第一支撑板与第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有第二弹簧，第二支撑板设于基座上，第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器分别通过螺钉与相对应的第一支撑板固定连接，基座的侧壁设有橡胶层，基座的底壁上设有防水层，第一弹簧的另一端抵持一位移放大机构。本申请通过在基座上设置减震机构可以减少外界振动对于微动平台的损坏，从而保证了微动平台的精密度，减小误差。

主权项

一种带有减震机构的微动平台，其特征在于：包括一矩形基座和设于所述基座内的运动平台，所述基座上设有两驱动方向相互垂直的第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的两端分别设有半球形的推力球，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的其中一端抵持于第一弹簧的端部，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的另一端分别对应设有减震机构，所述减震机构包括第一支撑板与第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板之间设有第二弹簧，所述第二支撑板设于所述基座上，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器分别通过螺钉与相对应的第一支撑板固定连接，所述基座的侧壁设有橡胶层，所述基座的底壁上设有防水层，所述第一弹簧的另一端抵持一位移放大机构。