[实用新型]一种用于晶元盘的张紧装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种用于晶元盘的张紧装置，用于解决现有技术中的装置把物料从晶元盘的膜上剥离出来较为困难，造成成功率低的技术问题。本实用新型实施例包括机座、张紧顶板和张紧底板；机座的底端设置有四个同步轮；张紧顶板与机座通过四副丝杠进行连接；丝杠的底端均与同步轮进行连接，每个同步轮之间通过同步带进行连接；机座的底端设置有驱动轮，驱动轮由电机驱动，并且通过同步带带动每个同步轮旋转，进而带动丝杠旋转；张紧底板的中间位置上固定设置有张紧环；张紧底板设置于张紧顶板与机座之间，并且，张紧底板的两侧均与丝杠进行连接，在丝杠的带动下，张紧底板连同张紧环可在竖直方向上升降，从而对晶元盘上的物料进行剥离。

主权项

一种用于晶元盘的张紧装置，其特征在于，包括机座、张紧顶板和张紧底板；所述机座的底端设置有通过同步带进行连接的第一同步轮、第二同步轮、第三同步轮、第四同步轮以及驱动轮；所述晶元盘固定放置在所述张紧顶板上；所述张紧顶板的中间位置为圆形中空结构；所述张紧顶板的第一侧设置有第一安装部；所述张紧顶板上与所述第一安装部相对的第二侧设置有第二安装部；所述第一安装部的两侧的底端分别固定安装有第一丝杠和第二丝杠；所述第一丝杠的底端与所述第一同步轮进行连接；所述第二丝杠的底端与所述第二同步轮进行连接；所述第二安装部的两侧的底端分别固定安装有第三丝杠和第四丝杠；所述第三丝杠的底端与所述第三同步轮进行连接；所述第四丝杠的底端与所述第四同步轮进行连接；所述机座上设置有电机；所述电机的输出端与所述驱动轮进行连接，所述电机通过驱动所述驱动轮旋转，从而通过所述同步带带动所述第一同步轮、第二同步轮、第三同步轮以及第四同步轮进行旋转，进而带动所述第一丝杠、第二丝杠、第三丝杠以及第四丝杠进行旋转；所述张紧底板的中间位置上固定设置有张紧环；所述张紧底板设置在所述张紧顶板与所述机座之间，并且，所述张紧底板的第一侧与所述第一丝杠和所述第二丝杠进行连接；所述张紧底板的第二侧与所述第三丝杠和所述第四丝杠进行连接；所述张紧底板在所述第一丝杠、第二丝杠、第三丝杠以及第四丝杠的带动下在所述张紧顶板与所述机座之间进行升降，从而带动所述张紧环在所述张紧顶板的圆形中空结构内进行升降，所述张紧环进而将物料从所述晶元盘的膜上进行剥离。