[实用新型]一种提高扩散均匀性的组件

摘要

本实用新型涉及一种提高扩散均匀性的组件，包括石英管、底架、前旋盖、进气管、排气管、石英舟，其中石英管的下部设置底架，前端口设置前旋盖，在石英管内设置石英舟，石英管的后部设置进气管，前部设置排气管，其特征在于所述石英管的后端安装均流罩，均流罩呈锥状，且其尖端连接进气管；所述均流罩内设置有稳流网，稳流网将均流罩内腔分割成一个个稳流室；在石英管的前部侧壁设置有一圈出气孔，在石英管的前部外周设置环形集气管，集气管内设集气通道；所述排气管连通集气管。该组件通过在石英管的进气端加装稳流装置，从而使气体以稳定的气流进入石英管内，这可以使石英管内的硅片均匀接触气体，避免现有技术中出现的硅片表面电阻不均匀的问题，从而提高所制硅片的性能。

主权项

一种提高扩散均匀性的组件，包括石英管、底架、前旋盖、进气管、排气管、石英舟，其中石英管的下部设置底架，前端口设置前旋盖，在石英管内设置石英舟，石英管的后部设置进气管，前部设置排气管，其特征在于：所述石英管的后端安装均流罩，均流罩呈锥状，且其尖端连接进气管；所述均流罩内设置有稳流网，稳流网将均流罩内腔分割成一个个稳流室；在石英管的前部侧壁设置有一圈出气孔，在石英管的前部外周设置环形集气管，集气管内设集气通道，且集气通道连通出气孔；所述排气管连通集气管。