[实用新型]一种确定单晶圆棒切割点的装置

摘要

本实用新型公开了一种确定单晶圆棒切割点的装置，包括：第一平板和第二平板，所述第一平板为正方形平板，所述第二平板为正多边形平板，所述第二平板用于当所述第一平板的对角线和端面的对角线相互平行且在同一平面内，偏转角度为预设偏转角度时，确定所述第二平板的半径所在的直线在所述端面上的投影与所述端面的圆周线的交点为切割点，通过第一平板和第二平板相互配合，即可快速准确的确定出单晶圆棒的端面上的切割点。本实用新型的装置结构简单，易于制造，且能够快速准确的确定出切割点，提高工作效率，并提高了切割获得的单晶籽晶可用性，由此单晶籽晶成长出的类单晶品质更好。

主权项

1.一种确定单晶圆棒切割点的装置，其特征在于，包括：第一平板和第二平板，所述第一平板为正方形平板，所述第二平板为正多边形平板；所述第二平板设置在所述第一平板上，所述第一平板和所述第二平板的中心点连线所在的直线垂直于所述第一平板和所述第二平板；所述第二平板用于当所述第一平板的对角线和端面正方形的对角线相互平行且在同一竖直平面内，偏转角度为预设偏转角度时，确定所述第二平板的半径所在的直线在所述端面上的投影与所述端面的圆周线的交点为切割点；其中，所述端面正方形为在待切割的单晶圆棒的端面上，单晶圆棒侧面的四条棱线和所述端面的交点依次相连组成的正方形；所述偏转角度为所述第一平板的半径所在的直线和所述第二平板的半径所在的直线之间的夹角。