[实用新型]硅片烘槽

摘要

本申请公开了一种硅片烘槽，包括内箱体与外箱体，所述内箱体位于所述外箱体内部，所述内箱体与外箱体之间形成有一间隔空间，所述内箱体与外箱体均具有向上的开口，且开口大小相同，所述内箱体内部形成有容纳硅片花篮的槽体，所述内箱体至少1个侧面均匀布设有第一气孔，所述间隔空间内安装设置有加热管，所述加热管正对所述第一气孔，所述内箱体底面均匀布设有第二气孔，所述间隔空间内安装设置有至少一台离心风机，所述离心风机轴向垂直于所述内箱体底面。本实用新型的优点在于硅片在槽子内烘干，设备尺寸缩小，成本低，耗电也低，耗电是原来的1/3左右，硅片载具寿命变长了。

主权项

一种硅片烘槽，其特征在于，包括内箱体与外箱体，所述内箱体位于所述外箱体内部，所述内箱体与外箱体之间形成有一间隔空间，所述内箱体与外箱体均具有向上的开口，且开口大小相同，所述内箱体内部形成有容纳硅片花篮的槽体，所述内箱体至少1个侧面均匀布设有第一气孔，所述间隔空间内安装设置有加热管，所述加热管正对所述第一气孔，所述内箱体底面均匀布设有第二气孔，所述间隔空间内安装设置有至少一台离心风机，所述离心风机轴向垂直于所述内箱体底面，所述外箱体侧面顶部向外形成有折边，所述外箱体侧面上部向外凸伸有支撑面板，所述外箱体于开口处设置有箱盖。