[实用新型]一种具有斜壁式水冷热屏的单晶炉有效

专利信息
申请号: 201721227536.2 申请日: 2017-09-22
公开(公告)号: CN207347690U 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 徐涛;邱建峰;王义斌;周慧敏;徐志群 申请(专利权)人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 罗满
地址: 334100 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 本申请公开了一种具有斜壁式水冷热屏的单晶炉,包括倾斜式的位于导流筒内的水冷热屏本体,所述水冷热屏本体具有进水管和出水管,所述进水管和所述出水管均倾斜的固定于所述导流筒内,用于保持所述水冷热屏本体处于倾斜状态,所述进水管和所述出水管均从所述单晶炉的中炉筒侧面穿出并固定。上述具有斜壁式水冷热屏的单晶炉,能够增加单位时间内通过氩气传递的热量辐射,增大晶棒纵向的过冷度,提升单晶的等径阶段的拉速,提高生产效率,增加产能。
搜索关键词: 一种 具有 斜壁式 水冷 单晶炉
【主权项】:
1.一种具有斜壁式水冷热屏的单晶炉,其特征在于,包括倾斜式的位于导流筒内的水冷热屏本体,所述水冷热屏本体具有进水管和出水管,所述进水管和所述出水管均倾斜的固定于所述导流筒内,用于保持所述水冷热屏本体处于倾斜状态,所述进水管和所述出水管均从所述单晶炉的中炉筒侧面穿出并固定。
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