[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201721229738.0 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN207468713U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 何文双;吴炜钦;罗武峰;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈卫;禹小明 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示设备技术领域，具体公开了一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩膜板支撑架和玻璃基板支撑架，所述掩膜板支撑架用于承载金属掩膜板，所述玻璃基板支撑架用于承载玻璃基板，所述金属掩膜板设于所述蒸镀源和所述玻璃基板之间，所述蒸镀装置还包括依次设置于玻璃基板上方的冷板和磁铁，所述冷板下表面设置有凸起组件，本实用新型通过在冷板下表面设置凸起组件，减少冷板与玻璃基板之间接触产生的静电，同时使得冷板与金属掩膜板贴合时，保持稳定的高度，从而稳定金属掩膜板在不同腔体的制作工艺的一致性，降低金属掩膜板调试的难度以及报废的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 冷板 金属掩膜板 支撑架 蒸镀装置 掩膜板 本实用新型 凸起组件 下表面 蒸镀源 承载 稳定金属 显示设备 依次设置 蒸镀腔室 制作工艺 静电 蒸镀腔 磁铁 腔体 贴合 调试 报废 室内 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室（1）、设置于蒸镀腔室（1）内的蒸镀源（2）、掩膜板支撑架（3）和玻璃基板支撑架（4），所述掩膜板支撑架（3）用于承载金属掩膜板（5），所述玻璃基板支撑架（4）用于承载玻璃基板（6），所述金属掩膜板（5）设于所述蒸镀源（2）和所述玻璃基板（6）之间，其特征在于：所述蒸镀装置还包括依次设置于玻璃基板（6）上方的冷板（7）和磁铁（8），所述冷板（7）下表面设置有凸起组件。
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