[实用新型]研磨液供给单元及具备其的基板研磨装置有效
| 申请号： | 201721240939.0 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN207448235U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李昊俊;赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;陈国军 |
| 地址： | 韩国京畿道安城*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种研磨液供给单元及具备其的基板研磨装置，研磨液供给单元可以将研磨液均匀地供应于研磨垫。研磨液供给单元包括外壳、研磨液供给部及弹性支撑部，外壳设置为下面从研磨垫表面上浮规定间隔，研磨液供给部将研磨液供给于所述研磨垫，并且利用研磨液的供给压力，对所述外壳的下面和所述研磨垫之间的间隔进行调节，弹性支撑部设置于所述外壳的上部，相对于所述研磨垫对所述外壳进行弹性加压。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 研磨液 研磨液供给单元 基板研磨装置 弹性支撑部 弹性加压 供给压力 供给部 上浮 | ||
【主权项】：
一种基板研磨装置的研磨液供给单元，研磨液供给单元在基板研磨装置中用于将研磨液供应于研磨垫，所述基板研磨装置的研磨液供给单元包括：外壳，其设置为下面从研磨垫表面上浮规定间隔；研磨液供给部，其将研磨液供给于所述研磨垫，并且利用研磨液的供给压力，对所述外壳的下面和所述研磨垫之间的间隔进行调节；以及弹性支撑部，其设置于所述外壳的上部，相对于所述研磨垫对所述外壳进行弹性加压。
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