[实用新型]一种磁场可调的磁控溅射镀膜阴极机构有效
| 申请号： | 201721246910.3 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN207483841U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王振东;何万能 | 申请（专利权）人： | 苏州诺耀光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种磁场可调的磁控溅射镀膜阴极机构，包括溅射阴极底座，溅射阴极底座上固定设有第一永磁体和第二永磁体，以提供固定磁场，第一永磁体为四根永磁体拼接成的矩形框状，第二永磁体为长条状且位于第一永磁体中心位置，第一永磁体的S极朝向溅射阴极底座设置，第二永磁体的N极朝向溅射阴极底座设置；还包括若干磁力线圈，磁力线圈靠近第二永磁体且沿长度方向间隔均匀设置在第二永磁体两侧，磁力线圈的轴线垂直于溅射阴极底座设置，以调节磁场大小。本实用新型在靠近第二永磁体的位置设有若干个可以调节磁场大小的磁力线圈，靶材消耗后通过磁力线圈调整溅射靶面处的磁场大小，可以使镀膜厚度更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 永磁体 磁力线圈 溅射阴极 底座 磁场 磁控溅射镀膜 本实用新型 磁场可调 阴极机构 长度方向间隔 固定磁场 矩形框状 均匀设置 轴线垂直 长条状 溅射靶 靶材 镀膜 拼接 消耗 | ||
【主权项】：
一种磁场可调的磁控溅射镀膜阴极机构，其特征在于，包括溅射阴极底座，所述溅射阴极底座上固定设有第一永磁体和第二永磁体，以提供固定磁场，所述第一永磁体为四根永磁体拼接成的矩形框状，所述第二永磁体为长条状且位于第一永磁体中心位置，所述第一永磁体的S极朝向溅射阴极底座设置，第二永磁体的N极朝向溅射阴极底座设置；还包括若干磁力线圈，所述磁力线圈靠近所述第二永磁体且沿长度方向间隔均匀设置在所述第二永磁体两侧，所述磁力线圈的轴线垂直于所述溅射阴极底座设置，以调节磁场大小。
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