[实用新型]一种改善氧化硅均匀性的晶舟

摘要

本实用新型提供了一种改善氧化硅均匀性的晶舟，包括环形舟和梯形舟，所述环形舟和梯形舟均为所述晶舟的水平支撑环；所述晶舟由下到上依次设置至少一个梯形舟和至少一个环形舟；所述梯形舟包括内径略小于装载晶圆的半径的梯形舟水平支撑环；所述环形舟包括环形舟水平支撑环和设置于所述环形舟水平支撑环上表面的石英环形支撑件。本实用新型的晶舟的上半部分为环形舟，可以改善梯形舟顶端膜厚均匀性差的问题；下半部分设计为梯形舟，优化了环形舟底端膜厚的均匀性；这样将梯形舟与环形舟结合起来，解决了气体由下往上，由边缘向中心扩散导致的硅片均匀性差的问题。

主权项

1.一种改善氧化硅均匀性的晶舟，其特征在于：包括环形舟(1)和梯形舟(2)，所述环形舟(1)和梯形舟(2)均为所述晶舟的水平支撑环；所述晶舟由下到上依次设置至少一个梯形舟(2)和至少一个环形舟(1)；所述梯形舟(2)包括内径略小于装载的晶圆的半径的梯形舟水平支撑环(21)；所述环形舟(1)包括环形舟水平支撑环(11)和设置于所述环形舟水平支撑环(11)上表面的石英环形支撑件(12)。