[实用新型]一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置有效
| 申请号： | 201721253248.4 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN207512064U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 范玉华;李卫涛;赵学东;陈召强 | 申请（专利权）人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 崔自京 |
| 地址： | 054000 河北省邢台*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，包括进气件、第一吹气件和第二吹气件；进气件为T字形，包括进气口和两个出气口；第一吹气件和第二吹气件均为V字形，且第一吹气件包括第一进气口和第一吹气口，第二吹气件包括第二进气口和第二吹气口，两个出气口通过快速接头分别与第一进气口和第二进气口连接，且进气件的管径大于所述第一吹气件和第二吹气件的管径。本实用新型的吹气装置，快速接头可以调整第一进气口和第二进气口的具体位置，两个吹气口的距离呈逐渐变小的趋势，更精确地将气流吹到石墨电极，保证吹气速率，达到高效除尘的目的，避免石墨电极附着的杂质掉入埚内，有效地减少了坩埚内表面的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 吹气件 进气口 坩埚内表面 吹气装置 吹气口 进气件 本实用新型 快速接头 石墨电极 出气口 管径 进气口连接 有效地减少 高效除尘 吹气 附着 保证 | ||
【主权项】：
1.一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，其特征在于，包括进气件(1)、第一吹气件(2)和第二吹气件(3)；所述进气件(1)为T字形，包括进气口(11)和两个出气口(12)；所述第一吹气件(2)和所述第二吹气件(3)均为V字形，且所述第一吹气件(2)包括第一进气口(21)和第一吹气口(22)，所述第二吹气件(3)包括第二进气口(31)和第二吹气口(32)，所述进气件(1)的两个所述出气口(12)通过快速接头(4)分别与所述第一进气口(21)和所述第二进气口(31)连接且密封；所述进气件(1)的管径大于所述第一吹气件(2)和所述第二吹气件(3)的管径。
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