[实用新型]晶片清洗夹具

摘要

本实用新型涉及晶片清洗夹具，属于晶片清洗技术领域。本实用新型包括夹具头、夹具身和与夹具身配合的移动夹，所述的夹具头的形状为三角形，三角形的两个腰上各设有一个凸起部，凸起部Ⅰ和凸起部Ⅱ开有开口向内的凹槽Ⅰ和凹槽Ⅱ，所述移动夹的一条夹腿末端设有凸起部Ⅲ，凸起部Ⅲ的末端开有凹槽Ⅲ，凹槽Ⅲ的开口与凹槽Ⅰ和凹槽Ⅱ的开口方向相对，所述夹具身的边缘设有导轨凸起，所述移动夹开口的内表面开有与导轨凸起配合的导槽，三点定位将晶片牢固的夹持在夹具上，夹具头上的两个凹槽为固定夹持点，移动夹上的凹槽为移动夹持点，使得晶片安装方便并且可以适配多种不同尺寸的晶片。

主权项

1.一种晶片清洗夹具，其特征在于：包括夹具头(1)、夹具身(2)和与夹具身(2)配合的移动夹(3)，所述的夹具头(1)的形状为三角形，三角形的两个腰上各设有一个凸起部，凸起部Ⅰ(5)和凸起部Ⅱ(7)开有开口向内的凹槽Ⅰ(6)和凹槽Ⅱ(8)，所述移动夹(3)的一条夹腿末端设有凸起部Ⅲ(31)，凸起部Ⅲ(31)的末端开有凹槽Ⅲ(32)，凹槽Ⅲ(32)的开口与凹槽Ⅰ(6)和凹槽Ⅱ(8)的开口方向相对，所述夹具身(2)的边缘设有导轨凸起，所述移动夹(3)开口的内表面开有与导轨凸起配合的导槽。