[实用新型]一种用于对薄膜在水槽中的浸渍装置有效
| 申请号： | 201721268236.9 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN207624672U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 蔡水河 | 申请（专利权）人： | 常州欣盛微结构电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18;B65H23/188;B65H20/02 |
| 代理公司： | 温州市品创专利商标代理事务所(普通合伙) 33247 | 代理人： | 程春生 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于对薄膜在水槽中的浸渍装置，包括用于装有药水的水槽，水槽一端上方设置有用于放置薄膜的放卷台，水槽另一端上方设置有用于放置薄膜的收卷台，水槽内部安装有传送装置，传送装置是由上下分布的数个传输管体依次构成，上传输管体和下传输管体的形状采用的半圆形，上传输管体和下传输管体的一端通过支撑装置固定在水槽内壁上，上传输管体和下传输管体的另一端设置有进水口，进水口上设置有进水管，在上传输管体和下传输管体中内部为空心结构，在上传输管体和下传输管体中的圆弧形面上设置有阵列分别的圆形喷口。本实用新型结构简单、维护简单、可靠性高且制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 传输管 水槽 薄膜 本实用新型 传送装置 浸渍装置 进水口 空心结构 内部安装 上下分布 水槽内壁 一端设置 圆形喷口 支撑装置 制造成本 放卷台 进水管 收卷台 圆弧形 药水 维护 | ||
【主权项】：
1.一种用于对薄膜在水槽中的浸渍装置，包括用于装有药水的水槽，水槽一端上方设置有用于放置薄膜的放卷台，水槽另一端上方设置有用于放置薄膜的收卷台，其特征在于，水槽内部安装有传送装置，传送装置是由上下分布的数个传输管体依次构成，所述传送装置中的上传输管体安装的位置高于水槽内部药水水平面，所述传送装置中的下传输管体安装的位置低于水槽内部药水水平面，上传输管体和下传输管体的形状采用的半圆形，上传输管体和下传输管体的一端通过支撑装置固定在水槽内壁上，上传输管体和下传输管体的另一端设置有进水口，进水口上设置有进水管，在上传输管体和下传输管体中内部为空心结构，在上传输管体和下传输管体中的圆弧形面上设置有阵列分别的圆形喷口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
