[实用新型]花篮导片器

摘要

本实用新型提供了一种花篮导片器，该花篮导片器包括底座、第一限位体、第二限位体以及引导槽结构，引导槽结构包括多个并行排列的引导槽；第一限位体和第二限位体间隔地并行设置在底座的上表面上，其中，第一限位体位于底座上表面一侧的边缘处；第一限位体的上表面包括靠近第二限位体的第一区域和远离第二限位体的第二区域，引导槽结构设置在第二区域内，其中，引导槽延伸的方向与第一限位体和第二限位体的排列方向相同；第一限位体的上表面、第二限位体的上表面以及引导槽的底部在同一水平面内。使用本实用新型所提供的花篮导片器可以使花篮间的导片过程变得简单高效，与此同时还可以有效减少对硅片的二次接触。

主权项

1.一种花篮导片器，用于将第一花篮中的硅片导入第二花篮中，其中，所述第一花篮每侧的两根插片杆上均设置有用于夹持硅片的齿槽，所述第二花篮每侧的侧板上均设置有用于夹持硅片的卡槽，所述齿槽与所述卡槽的数量相同且槽宽相匹配，其特征在于，该花篮导片器包括：底座、第一限位体、第二限位体以及引导槽结构，该引导槽结构包括与所述齿槽以及所述卡槽数量相同且槽宽相匹配的多个并行排列的引导槽；所述第一限位体和所述第二限位体间隔地并行设置在所述底座的上表面上，其中，所述第一限位体位于所述底座上表面一侧的边缘处；所述第一限位体的上表面包括靠近所述第二限位体的第一区域和远离所述第二限位体的第二区域，所述引导槽结构设置在所述第二区域内，其中，所述引导槽延伸的方向与所述第一限位体和所述第二限位体的排列方向相同；装有硅片的所述第一花篮以开口朝向所述引导槽结构的方式放置在位于所述引导槽结构一侧的所述花篮导片器上、所述第二花篮以开口朝向所述引导槽结构的方式放置在所述引导槽结构另一侧时，所述第一花篮的两根插片杆位于所述第二限位体的两侧，所述第二限位体上表面和所述第一区域的上表面恰好与所述硅片接触形成支撑，且所述第二限位体的上表面、所述第一区域的上表面、所述引导槽的底部以及所述第二花篮侧板上卡槽的底部位于同一水平面内。