[实用新型]用于涂覆柔性基板的沉积设备有效
| 申请号： | 201721276952.1 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208501092U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·德皮施;于尔根·乌尔里奇;苏珊娜·施拉弗;斯特凡·海因;斯特凡·劳伦兹;沃尔特·文德尔穆特;比约恩·斯蒂克瑟-韦斯;沃尔克·哈克;托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔;尼尔·莫里森;乌韦·赫尔曼斯;德克·瓦格纳;赖纳·克拉;克里斯多夫·卡森;瓦莱里亚·梅特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/18;C23C16/54;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于使用层堆叠涂覆柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，容纳用于提供柔性基板的存储卷筒；沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室的下游，并且包含用于引导柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)；第二卷筒腔室，布置在沉积腔室(120)的下游，并且容纳卷绕卷筒,用于在沉积后在卷绕卷筒上卷绕柔性基板；和辊组件，经构造以沿着部分凸起和部分凹陷的基板输送路径将柔性基板(10)从第一卷筒腔室输送到第二卷筒腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性基板 卷筒腔 沉积设备 沉积腔室 卷筒 卷绕 涂覆 容纳 基板输送路径 沉积单元 存储卷筒 涂布滚筒 辊组件 使用层 凹陷 堆叠 上卷 凸起 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种用于使用层堆叠涂覆柔性基板(10)的沉积设备(100)，其特征在于，所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，容纳用于提供所述柔性基板(10)的存储卷筒(112)；沉积腔室(120)，布置在所述第一卷筒腔室(110)的下游，并且包含用于引导所述柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)；第二卷筒腔室(150)，布置在所述沉积腔室(120)的下游，并且容纳卷绕卷筒(152)，所述卷绕卷筒(152)用于在沉积后在所述卷绕卷筒(152)上卷绕所述柔性基板(10)；和辊组件，经构造以沿着部分凸起和部分凹陷的基板输送路径将所述柔性基板从所述第一卷筒腔室输送到所述第二卷筒腔室。
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