[实用新型]流体系统

摘要

一种集成化制出的流体系统，包含一流体作动区、一流体通道、一汇流腔室以及多个阀，该流体作动区由至少一导流单元所构成，该导流单元受控制致动以传输流体由其出口孔排出。该流体通道连通流体作动区的导流单元的出口孔，且具有多个分歧通道，以分流流体作动区所传输的流体。汇流腔室连通流体通道。多个阀分别设置于该多个分歧通道中，借由控制其启闭状态而控制流体由该分歧通道中输出。透过以上设置，可获取特定流速、压力与传输量的流体输出。

主权项

1.一种流体系统，集成化制出，包含:一流体作动区，由至少一个导流单元所构成，该导流单元受控制致动以传输流体由至少一出口孔排出；一流体通道，连通该流体作动区的该至少一出口孔，并具有多个分歧通道，使该流体作动区所传输的流体得以分流构成需求传输量；一汇流腔室，连通于该流体通道中，供流体累积在该汇流腔室内；一感测元件，设置于该流体通道中，用以感测该流体通道内的流体；以及多个阀，设置于该分歧通道中，借由控制其启闭状态以供该分歧通道中流体输出，该阀包含：一通道基材，具有一第一通孔及一第二通孔相互隔开设置，且连通该分歧通道，以及该通道基材凹设一腔室，该腔室设置有连通该第一通孔的第一出口，以及设置有连通该第二通孔的第二出口；一压电致动器，由一载板以及该载板的一表面上所贴附的一压电陶瓷所构成，且封盖该腔室；及一连杆，连接该载板的另一表面，并穿伸入该第二出口中自由位移，且该连杆一端具有截面积大于该第二出口的孔径的一挡阻部，以封闭该第二出口；其中，该压电致动器受致动而驱动该载板位移，连动该连杆的该挡阻部控制该第二出口的启闭状态，以控制流体由该分歧通道输出。