[实用新型]一种电感耦合等离子体质谱仪自动气体处理系统

摘要

本实用新型公开了一种电感耦合等离子体质谱仪自动气体处理系统，其特征在于,包括：处理池，添加池，回收池，废气室，传感器组，控制器，排风扇和排风阀门；所述处理池，用以集中处理质谱仪产生的所有废气；添加池，用以自动添加处理池中的处理液；回收池，用以回收处理池中使用过的处理液；废气室，用以废气2的吸附和检测，产生可排放的废气3；传感器组，用以检测废气的各项气体参数；控制器，接收上位机的指令，接收传感器组的信息，实时传送给上位机，集中处理废气，处理液的添加和排除；控制气体的排放；排风扇，用以调整排风量的大小，控制废气排出的速度；排风阀门，连接联通排风口和废气室。

主权项

1.一种电感耦合等离子体质谱仪自动气体处理系统，其特征在于,包括：处理池，添加池，回收池，废气室，传感器组，控制器，排风扇，排风阀门；处理池，用以集中处理质谱仪产生的所有废气；添加池，用以自动添加处理池中的处理液；回收池，用以回收处理池中使用过的处理液；废气室，用以废气2的吸附和检测，产生可排放的废气3；传感器组，用以检测废气的各项气体参数；控制器，接收上位机的指令，接收传感器组的信息，实时传送给上位机，集中处理废气，处理液的添加和排除；控制气体的排放；排风扇，用以调整排风量的大小，控制废气排出的速度；排风阀门，连接联通排风口和废气室。