[实用新型]一种紫外激光加工设备

摘要

本实用新型涉及激光加工技术领域，提供一种紫外激光加工设备，用于对非金属材料进行加工，包括紫外激光振镜系统、机器视觉系统、控制系统、工作台、运动系统和运动驱动系统。本实用新型实施例通过工作台固定非金属材料，通过机器视觉系统实时采集非金属材料的图像数据，通过控制系统对图像数据进行处理分析和显示，得到加工位置信息，通过运动驱动系统根据加工位置信息驱动运动系统调整工作台的位置，并驱动紫外激光振镜系统将紫外激光束聚焦到所述非金属材料上的加工位置，可以对加工位置进行精确定位；通过采用紫外激光振镜系统可以实现对非金属材料的精细加工，使加工精度达到亚微米级。

主权项

1.一种紫外激光加工设备，用于对非金属材料进行加工，其特征在于，包括紫外激光振镜系统、机器视觉系统、控制系统、工作台、运动系统和运动驱动系统；所述紫外激光振镜系统和所述机器视觉系统设置在所述工作台上方，所述紫外激光振镜系统和所述运动系统与所述运动驱动系统电性连接，所述运动系统与所述工作台机械连接，所述紫外激光振镜系统、所述机器视觉系统、所述工作台和所述运动驱动系统与所述控制系统电性连接。