[实用新型]一种材料放气率的测量装置有效
| 申请号： | 201721318650.6 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN207488116U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 黄涛;王鹏程 | 申请（专利权）人： | 东莞中子科学中心 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 郭燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种材料放气率的测量装置，该装置包括测量单元、真空抽气单元和控制与分析单元。测量单元包括真空计、小孔流导测量通道和测量室。两个小孔流导测量通道与测量室之间由样品室、标准小孔、真空计、四级质谱仪组成两个相同的测量管道连通。第一真空计用于测量测量室的真空度；第二真空计用于测量第一小孔流导测量通道的真空度；第三真空计用于测量第二测量通道的真空度。通过使用本实用新型双样品室双小孔流导测量通道的测量装置，同时采集两个通道的真空度，可以得到测量通道的本底真空度和材料放气率，有效提高了测量准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 测量通道 真空计 流导 小孔 材料放气 测量装置 测量室 测量 本实用新型 测量单元 样品室 真空抽气单元 本底真空度 标准小孔 测量管道 第二测量 分析单元 质谱仪 连通 采集 | ||
【主权项】：
一种材料放气率的测量装置，其特征在于，包括：测量单元(A2)、真空抽气单元(A3)和控制与分析单元(A1)；测量单元包括：测量室(202)，其具有形成真空环境的腔室；第一小孔流导测量通道，所述第一小孔流导测量通道包括第一样品室(209)，第一样品室具有用于放置被测材料样品的空腔，所述第一样品室和测量室之间通过第一标准小孔(204)进行气体连通；第二小孔流导测量通道，所述第二小孔流导测量通道包括第二样品室(218)，第二样品室具有形成真空环境的腔室，所述第二样品室和测量室之间通过第二标准小孔(213)进行气体连通；第一真空计(201)，用于测量测量室的真空度；第二真空计(205)，用于测量第一小孔流导测量通道的真空度；第三真空计(214)，用于测量第二小孔流导测量通道的真空度；真空抽气单元用于为第一样品室(209)、第二样品室(118)和测量室(102)抽取真空；控制与分析单元分别与第一真空计、第二真空计和第三真空计通信连接，用于根据第一真空计、第二真空计和第三真空计的测量结果计算被测材料样品的放气率。
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