[实用新型]一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置有效

专利信息
申请号: 201721335979.3 申请日: 2017-10-17
公开(公告)号: CN207347650U 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 王军红;王珍 申请(专利权)人: 东莞市典雅五金制品有限公司
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02
代理公司: 东莞众业知识产权代理事务所(普通合伙) 44371 代理人: 何恒韬
地址: 523000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本新型公开一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,包括除尘箱体,除尘箱体的两旁侧分别设进风组件和排气组件,进风组件和排气组件均与除尘箱体连通并构成风流通道,进风组件能产生离子风并沿风流通道送入除尘箱体;除尘箱体的内侧壁上固设有若干加热装置,加热装置用于对去水送入除尘箱体的离子风的水气和/或对置于除尘箱体内的真空镀膜工件干燥;除尘箱体的底部/顶部安设有一驱动装置,该驱动装置传动连接一置于除尘箱体的工件挂架,驱动装置能驱动工件挂架转动并带动工件转动,配合进风组件送风及加热装置加热完成对工件的离子静电除尘和干燥。本新型的装置结构简单、制造成本低、使用和维护成本低、除尘效率高,能提高真空镀膜产品的良品率。
搜索关键词: 一种 用于 真空镀膜 工件 离子 除尘 装置
【主权项】:
1.一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:包括除尘箱体,所述除尘箱体的两旁侧分别设有进风组件和排气组件,所述进风组件和排气组件均与除尘箱体连通并构成风流通道,所述进风组件能产生离子风并沿所述风流通道送入所述除尘箱体;所述除尘箱体的内侧壁上固设有若干加热装置,所述加热装置用于对去水送入除尘箱体的离子风的水气和/或对置于除尘箱体内的真空镀膜工件干燥;所述除尘箱体的底部/顶部安设有一驱动装置,该驱动装置传动连接一置于所述除尘箱体的工件挂架,所述驱动装置能驱动工件挂架转动并带动工件转动,配合所述进风组件送风及所述加热装置加热完成对工件的离子静电除尘和干燥。
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