[实用新型]可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪有效
申请号: | 201721336574.1 | 申请日: | 2017-10-17 |
公开(公告)号: | CN207480616U | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 马俊麒 | 申请(专利权)人: | 海鑫光电系统科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B25J15/00 | 分类号: | B25J15/00;B25J9/00;B25J9/10 |
代理公司: | 北京寰华知识产权代理有限公司 11408 | 代理人: | 林柳岑;何尤玉 |
地址: | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型为一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪,包括有一基架及一对可相对摆动地连接于该基架的夹臂,各夹臂分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆;本实用新型的机器人夹爪通过可相对摆动的夹臂调整两夹臂之间的距离,并使不同尺寸的晶圆承载篮能够对应挂置于距离相对应的挂杆上,以实现单一夹爪能够挂置尺寸不同的晶圆承载篮的效果,省去了更换机器人夹爪的麻烦。 | ||
搜索关键词: | 夹爪 夹臂 晶圆 机器人 承载 本实用新型 相对摆动 挂杆 基架 地连接 挂置 | ||
【主权项】:
一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪,其特征在于,包括:一对基架,各基架呈水平延伸且互相平行设置;一对夹臂,各夹臂分别连接于各基架且可相对摆动,并分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆。
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