[实用新型]一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能动力磨头

摘要

本实用新型属于单晶硅棒滚磨加工领域，具体涉及一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能动力磨头。本装置提供了一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能动力磨头，能够在一体设备中精确定位，同时加工平面、外圆及V槽，相比传统磨削效率不只高一倍，减少人力成本，提高加工精度。本实用新型的有益效果为：刀盘与动力头主轴锥面配合且形成自锁，接触面积大，安装精度高，刀盘端面和圆周跳动均小于0.01mm，加工精度大大提高；磨削砂轮的设计将外圆、平面和V槽磨削三功能集成在一起，大大提高了加工效率；整个动力磨头安装在能实现横向、纵向精确定位的机构中，大大提高加工能力。

主权项

一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能动力磨头，其特征在于：包括动力头外壳，设置在动力头外壳内部的动力头主轴，所述动力头主轴分为四段，分别为动力头主轴头部，动力头主轴前端，动力头主轴后端，动力头主轴尾端；所述位于动力头主轴头部处的动力头外壳与头部法兰固定连接，该动力头主轴头部从所述头部法兰中伸出并与刀盘配合连接，磨削砂轮固定安装在所述刀盘上；所述动力头主轴前端的台阶上安装有一对第二角接触球轴承，所述一对第二角接触球轴承之间隔有第二轴承外圈压套和第二轴承内圈压套，第二轴承压圈压紧远离动力头主轴前端的第二角接触球轴承并通过安装的第二锁紧螺母压紧第二轴承压圈；所述动力头主轴后端的台阶上装有一对以背靠背形式安装的第一角接触球轴承，并依次通过第一轴承压圈压紧和第一锁紧螺母压紧；所述动力头主轴尾端通过变频电机联轴器与变频电机输出端连接，所述变频电机通过电机法兰与动力头外壳固定连接。