[实用新型]一种基于单个压电叠堆的惯性纳米步进马达有效
申请号: | 201721342814.9 | 申请日: | 2017-10-18 |
公开(公告)号: | CN207664890U | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 庞宗强;周泽清;张悦 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | H02N2/02 | 分类号: | H02N2/02;H02N2/04 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 李吉宽 |
地址: | 210023 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于单个压电叠堆的惯性纳米步进马达,包括基座、一个压电叠堆、一个刚性传力块、一个柔性传力块(由一个铍铜弹簧片和两个螺丝构成)和滑杆。所述压电叠堆按正负极相互短接垂直固定于基座上,并于其上施加一路锯齿波电压驱动信号,所述刚性传力块粘接固定于压电叠堆自由端,与柔性传力块通过挤压方式固定滑杆,挤压压力满足:刚性传力块和柔性传力块对滑杆的最大静摩擦力略大于滑杆自身重力。本实用新型结构简单易制作,仅需一个压电叠堆和一路锯齿波电压驱动信号即可控制滑杆的步进行走,同时,本实用新型摩擦力可调,驱动力可控,刚性强,具有纳米级步进精度,适合作为极端条件下的微型扫描探针显微镜的微调定位装置。 | ||
搜索关键词: | 压电叠堆 滑杆 本实用新型 刚性传力 柔性传力 锯齿波电压 步进马达 驱动信号 扫描探针显微镜 微调定位装置 最大静摩擦力 垂直固定 固定滑杆 极端条件 挤压方式 挤压压力 粘接固定 铍铜弹簧 刚性强 纳米级 驱动力 正负极 自由端 步进 短接 可调 可控 螺丝 施加 制作 | ||
【主权项】:
1.一种基于单个压电叠堆的惯性纳米步进马达,包括基座、一个压电叠堆、一个刚性传力块、一个柔性传力块和滑杆,所述压电叠堆按正负极相互短接垂直固定于基座上,并于其上施加一路驱动信号,所述刚性传力块粘接固定于压电叠堆的自由端,并与柔性传力块通过挤压方式固定滑杆,挤压压力满足:刚性传力块和柔性传力块对滑杆的最大静摩擦力略大于滑杆自身重力,其中刚性传力块由一个刚性导向槽和四颗粘贴于刚性导向槽内壁的氮化硅圆球组成,柔性传力块由一个铍铜弹簧片和两个穿过铍铜弹簧片并固定于刚性导向槽上的螺丝组成。
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