[实用新型]一种十字棱台图形化衬底有效
| 申请号： | 201721349220.0 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN207664055U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 杨为家;刘俊杰;唐秀凤;刘铭全;赵志诚;刘均炎;何鑫 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/00;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 冯剑明 |
| 地址： | 529000*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种十字棱台图形化衬底，包括由下往上依次层叠的衬底底部和十字棱台图案，所述十字棱台图案的直径为500‑950nm，高度为150‑500nm。制备的十字棱台图形化蓝宝石衬底，能够促进薄膜的横向生长，有利于后续生长高质量低缺陷的薄膜，可大幅度提高LED的发光效率；制备的十字棱台图形化衬底能够增加光的反射从而提高LED、LD器件的出光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 棱台 衬底 图形化 制备 薄膜 图形化蓝宝石 图案 出光效率 发光效率 横向生长 依次层叠 低缺陷 反射 生长 | ||
【主权项】：
1.一种十字棱台图形化衬底，其特征在于，所述十字棱台图形化衬底包括由下往上依次层叠的衬底底部和十字棱台图案，所述十字棱台图案由多个形状相同的首尾连接的十字棱台图形组成，每个十字棱台图形的直径为500‑950nm，高度为150‑500nm。
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