[实用新型]一种扩散推片装置有效
| 申请号： | 201721370121.0 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN207233766U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 贾徳刚;包兵兵;李海燕;赖儒丹;牛春晓;谢章飞 | 申请（专利权）人： | 浙江众达能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/22 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙)33228 | 代理人： | 李迎春 |
| 地址： | 315712 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散推片装置，它包括载台(1)、设于载台(1)上的两端开口的第一承载结构(3)和设于载台(1)上的第二承载结构(4)，还包括驱动装置(2)、推片机构(5)和导向结构(6)，所述驱动装置(2)位于第一承载结构(3)的远离第二承载结构(4)的一端，所述推片机构(5)的一端与驱动装置(2)的输出端连接，所述推片机构(5)的另一端靠近第一承载结构一端的开口处设置，所述导向结构(6)位于第一承载结构(3)与第二承载结构(4)之间。该扩散推片装置能够自动推片且能降低硅片崩点碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散推片装置，它包括载台(1)、设于载台(1)上的两端开口的第一承载结构(3)和设于载台(1)上的第二承载结构(4)，其特征在于：还包括驱动装置(2)、推片机构(5)和导向结构(6)，所述驱动装置(2)位于第一承载结构(3)的远离第二承载结构(4)的一端，所述推片机构(5)的一端与驱动装置(2)的输出端连接，所述推片机构(5)的另一端靠近第一承载结构(3)一端的开口处设置，所述导向结构(6)位于第一承载结构(3)与第二承载结构(4)之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
