[实用新型]一种双面研磨机

摘要

本实用新型涉及晶片研磨领域，具体涉及一种双面研磨机，包括底座台、上压台和游星轮，所述底座台顶部设置有研磨腔，所述研磨腔外圈设置有内齿齿轮，所述研磨腔底部设置有底部研磨片，所述研磨腔中心设置有驱动齿轮，所述上压台包括，中心驱动盘、驱动电机和上研磨片；所述游星轮包括，同心设置的基体齿盘和定位盘，所述基体齿盘外圈设置有齿，所述基体齿盘内部设置有矩形孔，所述矩形孔内设置有定位滑块，所述定位盘包括活动轮和卡位环；所述定位滑块通过连杆与所述活动轮相连，所述矩形孔的中心线穿过所述基体齿盘的圆心，所述定位滑块在所述连杆作用下沿所述矩形孔的中心线方向靠近或远离所述基体齿盘圆心移动。

主权项

一种双面研磨机，其特征在于，包括：底座台（1）、上压台（2）和游星轮（3），所述底座台（1）顶部设置有研磨腔（11），所述研磨腔（11）外圈设置有内齿齿轮（12），所述研磨腔（11）底部设置有底部研磨片（13），所述研磨腔（11）中心设置有驱动齿轮（14），所述上压台（2）包括，中心驱动盘（21）、驱动电机（22）和上研磨片（23），所述驱动电机（22）与所述中心驱动盘（21）相连，所述中心驱动盘（21）与所述驱动齿轮（14）相装配，平面方向上所述游星轮（3）设置在所述驱动齿轮（14）与所述内齿齿轮（12）之间，高度方向上所述游星轮（3）设置在所述上研磨片（23）与所述底部研磨片（13）之间；所述游星轮（3）包括，同心设置的基体齿盘（31）和定位盘（32），所述基体齿盘（31）外圈设置有齿，所述基体齿盘（31）内部设置有矩形孔（311），所述矩形孔（311）内设置有定位滑块（312），所述定位盘（32）包括活动轮（321）和卡位环（322）；所述定位滑块（312）通过连杆（313）与所述活动轮（321）相连，所述矩形孔（311）的中心线穿过所述基体齿盘（31）的圆心，所述定位滑块（312）在所述连杆（313）作用下沿所述矩形孔（311）的中心线方向靠近或远离所述基体齿盘（31）圆心移动。