[实用新型]一种光纤预制棒母棒的烧结装置有效
申请号: | 201721392684.X | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN207418597U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 项南;柏文俊;冯程;马康库;沈震强;肖华 | 申请(专利权)人: | 江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 韩凤 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种光纤预制棒母棒的烧结装置,利用该装置烧结,可以解决真空烧结松散体时,石墨加热件被氧化的问题,且可以解决松散体烧结过程中气泡多和OH含量高的问题,从而获得气泡少和OH含量低的烧结芯棒。其包括真空烧结炉,所述真空烧结炉的腔体内布置有石英中心管、硅钼棒加热件、石墨保温层,所述石英中心管的顶部设置有保温层,引杆贯穿所述保温层后内伸至所述石英中心管的内腔内,所述引杆的下端通过连接套连接靶棒,所述靶棒用于松散体的沉积附着,所述石英中心管的对应于松散体沉积附着的长度方向的外环壁环布有所述硅钼棒加热件,所述硅钼棒加热件的外环部分设置有环布的石墨保温层。 | ||
搜索关键词: | 加热件 松散体 中心管 石英 硅钼棒 光纤预制棒 石墨保温层 真空烧结炉 烧结装置 保温层 靶棒 附着 环布 母棒 引杆 沉积 本实用新型 顶部设置 烧结过程 真空烧结 烧结 连接套 烧结芯 外环壁 石墨 内腔 下端 体内 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种光纤预制棒母棒的烧结装置,其特征在于:其包括真空烧结炉,所述真空烧结炉的腔体内布置有石英中心管、硅钼棒加热件、石墨保温层,所述石英中心管的顶部设置有保温层,引杆贯穿所述保温层后内伸至所述石英中心管的内腔内,所述引杆的下端通过连接套连接靶棒,所述靶棒用于松散体的沉积附着,所述石英中心管的对应于松散体沉积附着的长度方向的外环壁环布有所述硅钼棒加热件,所述硅钼棒加热件的外环部分设置有环布的石墨保温层,所述石墨保温层的内壁和所述硅钼棒加热件间预留有间隔空腔,所述真空烧结炉的上部侧壁上预设有两根进气管,具体为第一进气管、第二进气管,所述第一进气管贯穿所述石英中心管的外壁后通入其内腔,所述第二进气管贯穿所述真空烧结炉的侧壁后连通其腔体,所述石英中心管的底部设置有外通的第一排气管,所述真空烧结炉设置有外通的第二排气管。
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