[实用新型]一种坩埚有效
申请号: | 201721397858.1 | 申请日: | 2017-10-27 |
公开(公告)号: | CN207933519U | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 何传友;马群;崔志明;杨婷雁;雷瑶 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 刘悦晗;陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供一种坩埚,通过在坩埚本体内沿其宽度方向设置多个第一挡板,各第一挡板之间间隔设置,从而将坩埚本体的内部空间划分为多个区域,第一挡板固定在坩埚本体相对设置的第一侧壁和第二侧壁上,第一挡板上设置多个第一镂空部或多个凹槽,这样,当坩埚沿其长度方向从一个腔室移动到另一个腔室时,坩埚本体内的蒸镀材料可以通过第一挡板上的各个第一镂空部或各个第一凹槽在坩埚本体内的各个区域之间流动,从而抑制蒸镀材料晃动,提高蒸镀材料的稳定性,保证蒸镀速率维持平稳状态,可以提高蒸镀膜层的均一性和OLED基板色度良率。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 第一挡板 蒸镀材料 坩埚本体 体内 镂空部 腔室 本实用新型 第二侧壁 第一侧壁 间隔设置 平稳状态 速率维持 相对设置 蒸镀膜层 均一性 良率 色度 蒸镀 晃动 移动 流动 保证 | ||
【主权项】:
1.一种坩埚,包括坩埚本体和多个第一挡板,所述第一挡板沿所述坩埚本体的宽度方向设置,并固定在所述坩埚本体相对设置的第一侧壁和第二侧壁上,各所述第一挡板之间具有第一间隔距离,其特征在于,所述第一挡板上设置有多个第一镂空部或多个第一凹槽;所述坩埚还包括第二挡板,所述第二挡板沿所述坩埚本体的长度方向设置,并固定在所述坩埚本体相对的设置的第三侧壁和第四侧壁上,所述第二挡板上设置有多个第二镂空部或多个第二凹槽;所述第一挡板和所述第二挡板的高度小于所述坩埚本体的高度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201721397858.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种热浸镀锡铜线生产线的铜线定型装置
- 下一篇:电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件
- 同类专利
- 专利分类