[实用新型]一种大热场热屏防溅硅保护装置有效
| 申请号： | 201721401293.X | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN207525372U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 涂准;白忠学;白喜军;杨正华;吴廷廷;刘平虎;陈海云;李小龙;朱伟 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的一种大热场热屏防溅硅保护装置，包括多个石英罩瓣共同围成的石英罩和连杆组件，连杆组件带动多个石英罩瓣移动并围成石英罩。本实用新型的一种大热场热屏防溅硅保护装置具体具有以下优点：1、杜绝了复投料以及塌料过程中溅硅使得热屏内胆表面粘附硅点的可能性，减少了等径断线率；2、杜绝了由于硅点掉落带入表面粘附碳粉的可能，避免了硅点掉落导致单晶排列结构发生变化，从而导致晶体断线，同时还降低了晶棒内碳含量，提升了产品质量；3、由于热屏内胆表面无硅点粘附，无需对热屏内胆进行打磨，从而提高了石墨件使用寿命。从以上三个方面综合起来，可实现单晶生产综合成本的大大降低。 | ||
| 搜索关键词： | 热屏 石英罩 硅保护 大热 防溅 本实用新型 连杆组件 内胆表面 掉落 粘附 表面粘附 单晶生产 排列结构 使用寿命 综合成本 瓣移动 断线率 石墨件 单晶 等径 断线 晶棒 内胆 碳粉 投料 打磨 | ||
【主权项】：
1.一种大热场热屏防溅硅保护装置，其特征在于，包括多个石英罩瓣(1)共同围成的石英罩和连杆组件，所述连杆组件带动多个石英罩瓣(1)移动并围成石英罩。
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