[实用新型]一种柔性基板的吸附装置

摘要

本实用新型涉及一种面板制程装置，尤其是涉及一种柔性基板的吸附装置。该吸附装置，包括吸附支架，吸附支架下方设有吸附面朝下的吸附平台，吸附平台上设有若干通孔，若干通孔内均设有用于吸附柔性基板上端面的吸嘴，吸附平台上方设有调节装置。通过在吸附支架下方设有吸附面朝下的吸附平台，吸嘴从柔性基板的上表面吸附，柔性基板无需翻面，蒸镀制程后直接点灯测试，可以极大缩短测试时间；通孔均匀分布在吸附平台中部，吸嘴设置在通孔内，避免因柔性基板中间垂落导致吸附时间过长；通过第一柱体和第二柱体的相对运动，及第一气柱和第二气柱内气压的变化，控制吸嘴吸附或松开柔性基板，以及吸嘴在通孔内的伸缩运动，可以实现单个吸嘴的独立运动。

主权项

一种柔性基板的吸附装置，包括吸附支架(1)，其特征在于：所述吸附支架(1)下方设有吸附面朝下的吸附平台(2)，所述吸附平台(2)上设有若干通孔(3)，若干所述通孔(3)内均设有用于吸附柔性基板(5)表面的吸嘴(4)，所述吸附平台(2)上设有若干与吸嘴(4)一一对应的调节装置，所述调节装置与吸嘴(4)弹性连接，所述调节装置用于控制吸嘴(4)吸附或松开柔性基板(5)，以及吸嘴(4)在通孔(3)内的伸缩运动；所述调节装置包括第二柱体(63)和设置在第二柱体(63)内的第二气柱(64)，以及连通所述第二气柱(64)和气泵的导气管(66)，所述第二气柱(64)下端通过弹性部件(65)与吸嘴(4)连通。