[实用新型]单晶炉石英坩埚的安装装置

摘要

本实用新型公开了一种便于石英坩埚安装过程中定位，同时提高石英坩埚加热效率的单晶炉石英坩埚的安装装置。该单晶炉石英坩埚的安装装置，设置在单晶炉内，所述单晶炉内腔的内壁上设置有保温罩；所述单晶炉的内腔内设置有石英坩埚以及石墨加热器；石英坩埚的安装装置包括坩埚托盘；所述坩埚托盘底部设置有拖杆；所述拖杆穿过单晶炉的底部；所述坩埚托盘具有与石英坩埚匹配的拖腔；所述坩埚托盘上设置有连通拖腔的通孔；所述锅体的外表面设置有凹槽；所述坩埚托盘上设置有定位销轴；所述定位销轴穿过坩埚托盘延伸到锅体外表面的凹槽内。采用该单晶炉石英坩埚的安装装置能够便于石英坩埚的安装定位，提高石英坩埚的加热效率。

主权项

1.单晶炉石英坩埚的安装装置，设置在单晶炉(1)内，所述单晶炉(1)内腔的内壁上设置有保温罩(2)；所述单晶炉(1)的内腔内设置有石英坩埚(4)以及石墨加热器(3)；其特征在于：石英坩埚的安装装置包括坩埚托盘(5)；所述坩埚托盘(5)底部设置有拖杆(7)；所述拖杆(7)穿过单晶炉(1)的底部；所述石英坩埚(4)底部为锅底(41)，底部以上为锅体(42)；所述坩埚托盘(5)具有与石英坩埚(4)匹配的拖腔，且所述坩埚托盘(5)拖腔具有的开口延伸到石英坩埚(4)的锅体(42)部位；所述坩埚托盘(5)上设置有连通拖腔的通孔(51)；所述锅体(42)的外表面设置有凹槽；所述坩埚托盘(5)上设置有定位销轴(6)；所述定位销轴(6)穿过坩埚托盘(5)延伸到锅体(42)外表面的凹槽内。